Назначение и технические характеристики

Координатограф позволяет полностью заменить фотолитографию при изготовлении микрополосковых СВЧ структур в случаях, когда не требуется слишком высокого разрешения. При этом качество проводников практически не отличается от полученных фотолитографией, в то время как при их изготовлении на микрофрезерных станках края проводников получаются «рваные», что существенно снижает добротность линий.

Рабочее поле координатографа 60 60 мм , погрешность в размерах структур не превышает ±5 мкм, максимальная скорость резания 1.2 см/мин., габариты 280 300 350 мм .

Прибор значительно сокращает время изготовления микрополосковых структур и полосковых структур на подвешенной подложке и удешевляет их производство в мелких сериях. его помощью можно также изготавливать электроды для исследования эффекта Холла и встречно- штыревые структуры для возбуждения и приема поверхностных акустических и магнитостати- ческих волн.

Координатограф может использоваться на предприятиях, в научно-исследовательских институ- тах и учебных заведениях радиофизического и радиотехнического профиля. Внаст оящее время эти установки успешно эксплуатируются в НПП «Радий» (г. Москва), ЗАО «СКАРД Электроникс» (г. Курск), НПФ «Фаза» (г. Красноярск), на кафедре радиоэлектроники ТГУ (г. Томск) и в ТУСУРе (г. Томск).

Сведения о патентоспособности и патентной защите разработки

А.с. № 1541691. Беляев Б. А., Казаков А. В., Лексиков А. А., Макиевский И. Я. Установка для изготовления рисунков металлических полосок ВСЧ уст-ройств.// ПТЭ, № 6, 1997, С. 124-125.